プラズマ用高周波電源装置メーカー。高周波・プラズマ技術をコアに半導体・液晶基板製造装置にユニット搭載されるプラズマ発生用高周波電源、マッチングユニット/インピーダンス整合装置、マイクロ波の製造販売。プラズマ技術を応用した新製品の開発に取り組む。海外はアメリカ、イギリス、韓国、台湾、中国に営業拠点。ローツェ<6323>・広島大学とSiC基板向け大気圧プラズマ熱処理装置・非接触基板温度測定装置の開発を研究。子会社IDXは研究機関・大学向けに加速器用・医療装置用・プラズマ装置用など直流安定化電源・パルス電源・マイクロ波電源の研究・製造・販売（医療・環境、物質科学関連の研究開発用）。2022年大気圧ガスプラズマシステム「PlasmaTact」を開発。主要取引先はBeijing E-Town Semiconductor Technology、Applied Materials。