世界トップの真空装置メーカー。真空技術を基盤に半導体・自動車・FPD業界向けに真空機器（FPD製造装置、半導体・電子部品製造装置、コンポーネント、一般産業用装置）、真空応用装置材料の製造・販売。主要製品はスパッタリング装置（世界トップクラス）、真空蒸着装置/有機EL成膜装置、CVD装置、エッチング装置。FPD向け真空機器分野（スパッタリング装置、有機EL用成膜装置）は米Applied Materialsと並び世界トップ。その他コンポーネント（真空ポンプ、真空計）、成膜材料を供給。次世代OLED製造装置、不揮発性メモリ用製造装置、ロジック半導体向け（PCRAM）製造装置、高機能電子デバイス用装置、ターボ分子ポンプ、量産用プラズマ成膜装置「ULGLAZEシステム」、超伝導加速器に注力。昭和真空<6384>を持分法適用会社に持つ。2020年次世代電池向け金属リチウム薄膜の電極製造装置を量産化、ロジック分野（メタルハードマスク用スパッタ工程）へ参入。2022年REJ（エンジニアメーカー）をアイダエンジニアリングへ譲渡。