世界4位の半導体製造装置メーカー。半導体製造装置（コータ/デベロッパ、エッチング装置、成膜装置、洗浄装置、テストシステム、ボンディング装置）、FPD製造装置（エッチング/アッシング装置）の製造販売。世界ランキングはASML、アプライドマテリアル、ラムリサーチに次ぐ4位（2024年）。半導体製造装置はDRAMメーカー、不揮発性メモリメーカー、ロジックファウンドリ、ロジック＆その他（MPU・AP）メーカーに販売。コータ/デベロッパ（塗布現像装置）、ガスケミカルエッチング装置、バッチ成膜装置、プローバは世界1位。洗浄装置、プラズマエッチング装置・メタル成膜装置は世界2位。450mmウェーハのための装置、EUV露光による超高解像パターニング、3次元積層メモリ対応、インクジェット技術を用いた有機ELディスプレイ製造装置の開発に注力。東京エレクトロン デバイスは持分法適用関連会社。2020年超臨界乾燥技術を搭載した洗浄装置をリリース。主要取引先はSamsung Electronics、TSMC。